w-gm-4200东京精密accretech磨边机
磨边机w-gm-4200，w-gm-5200，w-gm-6200
champ适用于300mm晶圆的模型，划片机ad3000t-plus，安装简单，划片机，用双手握住卡环并将固定器压在托架上，只需将卡环连接到整个圆周并取下盖子。
champ小型cmp装置特征：
。占地面积小。
cmp *** 具备在半导体器件量产线中培育出来的技术。
可根据客户要求更改设备规格 *** 可从研发扩展到试制和量产。
可提供2至8英寸的抛光头 *** 不同晶圆尺寸可在同一机体上抛光。
安装晶圆装载机可实现全自动运行。
通过安装清洁单元可以进行清洁。
高刚性磨床hrg3000rmx，hrg300，hrg300a，hrg200x
高刚性磨床hrg3000rmx特征：
实现短时间内无损伤加工。加工成本低。---加工。达到镜面效果。
高刚性磨床hrg300/hrg300a特征：
通过将加工点配置在三角形排列的滑动导轨的中心位置，并将横向进给进给轴配置在加工点上，具有对磨削负荷的机械变形小的结构。
由于其高刚性，ml301exwh划片机，它可以在短时间内加工，ad20t划片机，同时抑制磨削损伤。
由于其高刚性，可以进行适当的自锐性加工。延长砂轮的使用寿命。
配备用于批处理的过程中测量仪，在批处理过程中测量晶圆厚度。
全自动高刚性二轴磨床hrg200x特征：
实现短时间内无损伤加工。
加工成本低。
---加工。
达到镜面效果。
精密控制用旋风分离器?减速机t系列
定位用元件类型的回旋减速器。
定位用、高减速比型
? 容许峰值转矩412~11036n
? 减速比81~171
? 产品特点
1基于2级减速的高减速比
2低损耗运动( 0.5arc min )
? 型主轴承种类
fc-t没有
f2c-c锥形滚子轴承
? t系列
高减速比型
低损耗运动( 0.5arc min )
无fc-t
f2c-t圆锥滚子轴承
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